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MSX1000HR型X線検査装置

操作が容易なマイクロフォーカスＸ線検査装置です。

安全構造で、漏洩線量は1マイクロシーベルト以下。

XYテーブルは自動位置制御可能です、テーチング機能で繰り返し作業が容易です。

X線管はクローズド式、ユニット交換式でメインテナンスが容易です。

X線照射角度を最大60度までスイング可能です。

標準付属の解析ソフトで寸法測定や、3次元表示などが可能です。

マニュピレーターで小型部品を360度視点での観察も可能です。

動作の概要

MSX1000HR型は、X線焦点5ミクロンの高解像度型です、微細なサンプルを鮮明画像で捕らえます。
いずれも、X線照射時間は積算カウンターで管理できます、5000時間の動作保証が付きます。

XYテーブルは電動式で、装置前面の窓から基板を見ながら目的のBGAなど部品位置を決めることが出来ます。位置確認はレーザーポインターで行います。

X線撮像部は0～60度まで透視角度を傾斜させることが出来ます。（XYテーブルは固定です）

安全機能は万全です、インターロック機能により、万一X線使用中に装置の扉を開けるとX線発生器は停止します、Ｘ線照射中は装置の上部にあるＸ線照射ランプが点滅して知らせます。

マニュピレータを使用すると小型部品を360度回転させながらX線検査が出来ますが、同時に透視傾斜角度も変化することも可能です、組み合わせるとより詳しい透視データが得られます。

レーザービーム

扉窓

MSX1000型Ｘ線検査装置

X線検査の原理

X線は波長の短い電磁波で、原子と原子の間を透過することが出来ます、（可視光線の波長は数μｍ程度ですが、X線の波長はÅ領域です）そして、その透過力は物質の密度に版比例します。　Ｘ線は人体細胞を破壊する生理作用を有していますので、わが国では労働安全衛生施工令で管理されます、そしてX線従事者の健康障害を防止するよう具体的な措置方法が明文化されています。

当X線検査装置のX線漏洩量は、１マイクロシーベルト以下に設計されています、わが国の法令では、放射線の被ばく限度を実効線量で100mSv/5年と定めていますから、仮に週４０時間の作業者が年間５０週連続して、１マイクロシーベルトの放射線を被ばくしたとして、年間の被ばく量は2ｍＳｖとなり、それを５年間続けた場合10mSvとなります、また放射線の被ばく量は距離の自乗に反比例しますが、当装置のＸ線漏洩量単位は1μSv/h-cmですから、距離が離れた場合、飛躍的に被ばくの量は減少します。

MSX1000型X線検査装置の放射線漏洩量は、極めて軽微なもので、しかもＸ線を直接人体へ照射する装置でもありません、装置は箱状で、なまりの板で被われており、箱の外への漏洩は、１μＳｖ/ｈ/ｃｍ以下であり、0.5mSv/3月以下です、これは労働安全衛生規則の88条に基づいて、設置30日前までに、所轄の労働基準監督署への届出が義務付けされておりますが、装置の使用者に特別な資格は不要です。　家庭にあるカラーテレビ（ブラウン管式）でも数μSv/h程度の放射線がでており、日常の大気中でも、類似の放射線が飛び交っておりますから、当装置の放射線漏洩量が問題になるようなことはありません。

測定サンプル画像

MSX1000で測定したmBGA（1mmピッチ）の画像サンプルです、鮮明な画像が得られます、映像倍率は10～100倍まで可変できます。
X線管電圧は、最大110KVKvまで可変です、管電圧は高いほどＸ線は短波長となり、透過力が高まります。電流は100μA最大まで可変できます、電流が大きくなると画面は明るく映ります。
X線管は強制空冷式で連続測定可能です、Ｘ線照射は必要の無いときはこまめにスイッチＯＦＦとすることで、効率よく装置を使用することが出来ます。

60KV 40μA 0°

70KV 50μA 50°

右の画像は、いずれもX線スイング角度0です、（上）は、0.8mm半田ボール、（下）は、15..0ｘ15.0mmCSPをMSX1000で測定した画像です、0.5mmピッチのハンダボールがほぼ均等に見えます。
MSX1000では映像倍率約10-100倍率で画像をモニター上に写します、BGAの場合、XYテーブルの移動で目的の画像を捉えます、捕らえた画像の調子を整え、静止画像に変換してエンハンス調整を行いセーブします、JPEGまたはBITMAPで保存が出来ます。

70KV 15μA 0°

70KV 15μA 60°

外径寸法図

MSX1000HP/HR (880W x 1560H x 950D mm)

仕様

項目		仕様
		MSX1000HR
基板サイズ		300x360mm 最大
XYテーブルストローク		180Yx180Xmm
XYテーブル駆動		電動
XYテーブルサイズ		350W x 400D mm
タッチパネル式コントロール		XYテーチング可能
X線管電圧		30---90 Kv
X線管電流		40 micro A
焦点サイズ		5 micron m
X線管球		東芝IXR-M313A
X線管		透過型　エンドウインドウタイプ
冷却方式		密閉式　強制空冷
傾斜角度		0度～60度
X線漏洩線量		1μSv/H以下
X線防護方式		X線防護特殊キャビネット
透視拡大率		10--140倍
検出器		東芝E5881JCA1-2N/NU
		出力像20ｍｍ
		入力視野切り替え型
PC		デスクトップ
CPU		2.53GHz
メモリ		512MB
ストレージ		CD-R/RW, FDD3.5, HDD 80GB
OS		Windows XP
LCD		17型　1280x1024
画像処理機能		画質改善(アベレージング／積算）
		エンハンス強調
		コントラスト／ブライト調整
		4面/16面表示
		3次元表示/白黒反転/画像拡大（1～8倍）
画像計測（GｘVision)		X/Y　2点間距離
		楕円／円/BGA/ボイド　面積
		ワイヤー流れ/丸孔ずれ
		統計処理/キャリブレーション
レーザーマーカー		レッドマーカー
画像ボード		RICE-001/PCI バス/Rev2.1 5V 32bit 33MHz
電源		AC100V 1000VA
本体サイズ		880Wx1560Hx960Dmm
重量		約300Kg

改良などの理由により、概観、仕様が変更される場合があります。

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